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石英玻璃的纯度主要取决与原料，用四氯化硅等高纯原料生产的石英玻璃纯度可以达到6个9（99.9999%）；用提纯的优质天然石英生产的石英玻璃纯度可以达到4个9，用于半导体工业；用优质天然石英生产的普通石英玻璃纯度在3个9左右。
石英玻璃分析杂质含量水平（单位：ppm）
| Li | Na | K | Fe | Al | Ca | Mg | Cu | Co | Mn | Ni | OH | |
| 气炼石英玻璃 | 0.55 | 1.8 | 1.5 | 0.55 | 18 | 2.6 | 0.65 | 0.25 | 0.02 | 0.05 | 0.03 | 160 |
| 连熔石英玻璃 | 2.02 | 4.4 | 1.2 | 2.2 | 22 | 3.7 | 0.53 | 0.04 | 0.04 | 0.05 | 0.04 | 150 |
| 合成石英玻璃 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.1 | <0.3 | <0.1 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 1200 |
典型杂质含量分析（单位：ppm）
| Al | B | Ca | Co | Cu | Fe | K | Li | Mg | Mn | Ni | Ti | OH |
| 15 | 0.2 | 2 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 2 | 2 | 0.5 | 0.5 | 2 | 130-200 |
石英玻璃的结构十分松驰，甚至在高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散，其中以钠离子的扩散为最快。石英玻璃的这一性能对于使用者成为重要，例如，半导体工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时，由于半导体材料…...
失透（又叫析晶性）是石英玻璃的一个固有缺陷，从热力学这观点看，石英玻璃的内能高于结晶态方石英，属热力学上不稳定的亚稳态，当温度高于1000℃时，SiO2 分子振动加速，经一段较长时间的重新排列、定向便形成结晶。…...
石英玻璃属酸性材料，石英玻璃除氢氟酸和300℃以上的浓磷酸以外其他所有酸不论其温度和浓度均表现为惰性，是最好的耐酸材料。在常温下碱和盐地石英玻璃的腐蚀程度也是极微的，因此不排除在这些试剂中使用石英玻璃。透…...
石英玻璃的热膨胀系数极小，为5.5*10-7℃对热变化敏感度达到最低，甚至在原料掺杂加入矢量的钛元素后还可做成零膨胀系数的材料，在激光技术、天文和尖端技术中已得到应用。由于石英玻璃粘度极高，即使在熔融状态下仍保…...
由于石英玻璃网络结构中有很多不规则的空隙，使许多气体有可能进行扩散和渗透，特点是原子直径比较小的气体如氦、氖、氢等在石英玻璃中渗透性比较大，而氮、氧等原子比较大,活度比较小的气体，即使在600-700oC温度下，…...
石英中的众多元素影响了石英的品质。在半导体用石英玻璃和光导纤维中，微量的铝会促进光导石英玻璃纤维析晶，铝和硼结合增强石英玻璃的析晶作用。重金属和扩散系数大的钠、钙、钾等碱金属能降低半导体的使用寿命，影响…...
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