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纯度是石英玻璃的重要指标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温、强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下，因此石英玻璃则应控制在PPm数量级以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,最难除掉，是最有害的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命，K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的有害杂质。
名称 | Al | Fe | Ca | Mg | Ti | Cu | Mn | Ni |
电熔石英玻璃 | 32 | 2.0 | 1.5 | 1.5 | 2.08 | 0.2 | 0.27 | 0.2 |
气炼石英玻璃 | 16 | 0.92 | 1.5 | 0.4 | 1.0 | 0.01 | 0.05 | <0.3 |
电弧石英玻璃 | 10.4 | 0.3 | 0.6 | 0.3 | 1.35 | 0.05 | <0.05 | <0.3 |
合成高纯石英玻璃 | 0.37 | 0.31 | 0.27 | 0.04 | 0.03 | 0.03 | 0.01 | <0.03 |
红外光学石英玻璃 | 35 | 1.45 | 2.68 | 1.32 | 1.06 | 0.22 | 0.07 | <0.03 |
紫外光学石英玻璃 | 3.9 | 0.4 | 3.5 | 1.2 | 0.45 | 0.1 | 0.02 | 0.06 |
不透明石英玻璃 | 56 | 7.4 | 15.3 | 1.57 | 1.5 | 0.2 | 0.1 | - |
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