纯度是石英玻璃的重要指标,对理化性能和使用性能影响甚大,如失透性、高温、强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,用于半导体工业的石英玻璃,对纯度的要求更为苛刻,微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下,因此石英玻璃则应控制在PPm数量级以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,最难除掉,是最有害的杂质之一,Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命,K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的有害杂质。
名称 | Al | Fe | Ca | Mg | Ti | Cu | Mn | Ni |
电熔石英玻璃 | 32 | 2.0 | 1.5 | 1.5 | 2.08 | 0.2 | 0.27 | 0.2 |
气炼石英玻璃 | 16 | 0.92 | 1.5 | 0.4 | 1.0 | 0.01 | 0.05 | <0.3 |
电弧石英玻璃 | 10.4 | 0.3 | 0.6 | 0.3 | 1.35 | 0.05 | <0.05 | <0.3 |
合成高纯石英玻璃 | 0.37 | 0.31 | 0.27 | 0.04 | 0.03 | 0.03 | 0.01 | <0.03 |
红外光学石英玻璃 | 35 | 1.45 | 2.68 | 1.32 | 1.06 | 0.22 | 0.07 | <0.03 |
紫外光学石英玻璃 | 3.9 | 0.4 | 3.5 | 1.2 | 0.45 | 0.1 | 0.02 | 0.06 |
不透明石英玻璃 | 56 | 7.4 | 15.3 | 1.57 | 1.5 | 0.2 | 0.1 | - |
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在常温下,可以认为石英玻璃是不透气的,在高温(例如700℃)下,某些气体的透气常数也很小。因此可以用在高温高真空装备中。 表 石英玻璃容器连续抽真空所获得的最高真空度(实验条件)种类 真空度…...
石英玻璃的结构十分松弛,甚至在高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散,其中以钠离子的扩散为最快。石英玻璃的这一性能对于使用者尤为重要,例如,半导体工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时,由于半导体材料…...
性能单位 机械性能名称 透明石英玻璃 不透明石英玻璃密度 克/厘米3 2.21 2.06-2.184硬度 莫氏 5-7 5-6抗压强度 Mpa 800-1000 4…...
透明石英玻璃管 不透明石英玻璃管管内径mm 壁厚mm 破坏压力(千克/厘米2) 管内径mm 壁厚mm 破坏压力(千克/厘米2)4 …...
石英玻璃的折射率及光学常数见表1、表2.表1光学石英玻璃的折射率(之一)波长(毫微米) 水晶熔制石英玻璃 合成石英玻璃185.41 1.57464 - 193.53 1.56071 …...
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