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石英玻璃棒在半导体中的应用

作者:创通石英 来源: 日期:2020/11/19 10:07:26 人气:1 标签:石英玻璃棒 半导体 应用

相关执行标准:

半导体用透明石英玻璃棒  JC/T 2064-2011

本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒(以下简称石英玻璃棒)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。

石英玻璃棒一般用于制作半导体和光伏行业中分批式工艺所需的部件;如石英舟、硅片载体及基座等。 气泡含量低、纯度高和严苛的尺寸公差是这些熔融石英棒的重要特性。

熔融石英棒可以满足分批式烧制炉部件对尺寸和外观的严苛要求。

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